Модель | VTC-600-2HD Dual-Head высокого вакуума плазмы отличается неравномерностью - стержень Мейера |
Краткое введение | VTC-600-2HD - это Магнетрон отличается неравномерностью системы на базе двух целевых источников: 1) источник постоянного тока для покрытие металлических материалов на одной головке и 2) RF источник для покрытия неметаллические материалы на других цилиндров. Он оснащен Пленку толщиной tracker, позволяет пользователю легко следить за покрытие прогресса, а также запись данных. Эта модель является sophsticatedly предназначены для покрытия на одной или нескольких слоев пленки широкого Диапазона субстрата материалов (ферроэлектрическое, condutive, сплав, national semiconductor, керамические, диэлектрика, оптических, оксида азота, жесткий, тефлоновой подложки и т. Д. ). Его компактность и простота в эксплуатации делают его идеальным покрытием для использования в R& D labs. |
Входная мощность | 220 В переменного тока 50/60 Гц, одна фаза |
2000W (включая насос) |
Источник питания | Источник постоянного тока: 500 Вт для покрытие металлических материалов ( Ниже слева) |
Рч источник: 600 Вт с automatching для покрытия неметаллические материалы ( ) |
Компактный 300 источника РЧ доступна за дополнительную плату ( Ниже справа) |
Магнетрон отличается неравномерностью Головки блока цилиндров | Один подключен к РЧ блок питания для проводящих материалов |
Другой подключен к питанию постоянного тока отличается неравномерностью источник питания для покрытие металлических материалов |
Целевой размер: 2" диаметром |
1/16" макс. Толщина для металлических объектов |
1/4" макс. Толщина для проводящих целевых показателей |
Один из нержавеющей стали и один Al2O3 керамические целевые показатели для демонстрации испытания |
Головка охлаждения воды: 10мл/мин расход воды и один 16мл/мин с цифровым управлением Рециркуляционный охладитель воды для охлаждения как магнетрон отличается неравномерностью глав государств |
Настраиваемые - стержень Мейера: Два самолета RF головка без постоянного тока, sputering 3 RF головки доступны по запросу |
Вакуумную камеру | Вакуумную камеру: 300 мм в диаметре x 300 мм высота, сделаны из нержавеющей стали |
Окно наблюдения: 100 мм |
Откидной крышки типа в верхней части с пневмопружины спорт делает target exchange easy |
Держатель образца | Держатель образца размер: 140 мм в диаметре...4" полупроводниковая пластина max |
Держатель образца скорость вращения регулируется: 1 - 20 об/мин для равномерного покрытия |
Держатель температура регулируется в пределах от RT 500 °C макс с точностью +/- 1, 0 °C |
Расход газа контроля | Два точный цифровой MFC (Массового расхода топлива) установлены на двух типов газов, которые должны быть заполнены в |
Расход: 200 мл/мин. Макс. |
Расход регулируется на 6" сенсорный экран панели управления |
вакуумный насос станции | Высокая скорость турбонагнетателя система вакуумный насос (в Германии) - для установки непосредственно на вакуумную камеру для макс. Уровень вакуума |
Для тяжелого режима работы с двухступенчатой механический насос соединен с турбо насос для более быстрой скорости насоса |
Насос для мобильных ПК станции и в компактном отличается неравномерностью - стержень Мейера может быть поставлен в верхней части станции |
Макс. Уровень вакуума: 10^6 торр с камерой для выпекания |
Толщина монитора | Один Precision quartz толщина датчик встроен в камеру для наблюдения за покрытие толщиной с точностью 0, 10 Å |
Светодиодный дисплей устройство вне камеры может: |
Исходных материалов для быть покрыты в соответствии с базой данных включены |
На дисплее суммарную толщину покрытием и покрытием скорость |
5 пк quartz датчиков (расходные материалы) включены |
Водяное охлаждение не требуется |
Габаритные размеры | L1300мм № W660мм № H1200мм |
вес нетто | 160 кг |
Гарантия | Один год ограниченной гарантии на весь срок службы поддержки |
Примечание к приложению | Для удаления кислорода из камеры, Рекомендуем Вам использовать 5% Hytrogen + 95 % Азота к клану камера 2 - 3 раза, что может снизить уровень кислорода ниже 10 стр. /мин. |
Используйте > 5N чистоты аргона для плазменных панелей. Даже несмотря на то 5N чистоты Ar, обычно содержат 10- 100 ppm кислорода и H2O dependedon Поставщика. Настоятельно рекомендуем вам использовать для очистки газов указанным ниже устройством для очистки газа перед заливкой масла в: ( щелкните pic для заказа ) |
Ннмд питания одного кристалла подложку от A До Z ( щелкните на изображении ниже - право на заказ ) |